第152节
('<!--<center>AD4</center>-->\n\t\t\t\t 人，他们都穿着白色防尘衣，攥紧拳头牢牢盯住屏幕的光刻机仿真建模。<br/><br/> 组装、封装，启动激光器，紫色激光发射，击中模拟锡液滴，高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成?光源，光源集中、传递至光刻系统，经光刻系统一系列步骤曝光晶片。<br/><br/> euv光源系统现?实工作，激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次，而在仿真建模中，为方便观察，数据比例修改后变成?肉眼可观测。<br/><br/> 仿真建模观测一小时后，放大雕刻后的晶片，宛如一个个充满未来?感的城市。<br/><br/> 杜颂吞咽口水，紧张问：“怎么样？”<br/><br/> 雷客屏住呼吸：“仿真实验结果和当?初预料结果一致，如无意外?，方案可行。”<br/><br/> 身后传来?一阵激动的欢呼声，不过很快压下来?，众人纷纷看向没开口的盛明安，他才是实验室的主?心骨，他点头了?才算实验成?功！<br/><br/> 但不可避免的，他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼，紧张得几乎不能呼吸。<br/><br/> 无他，因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果！<br/><br/> 无数日?夜的数据优化?、改进，从光源系统到光刻系统，从激光器到复杂的双工作台，从反射镜到晶圆等部件材料，海量的数据和磅礴的公式计算，一千多个日?夜的心血全数系在这一刻！<br/><br/> 盛明安盯着右手边的光屏，那是光源优化?仿真实验结果，结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致，说明——<br/><br/> “方案可行。”<br/><br/> 第66章星晓[13]红头文件。<br/><br/> 方案可行意味着?他们研发高阶光刻机的方向是对的！<br/><br/> 不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装出?完整的高阶光刻机系统，包括仿真建模里?，模拟出?来的双工作台、反射镜等?数据都可以应用！<br/><br/> 但现?在?不?是高兴的时候,仿真建模只是高阶光刻机制造的第一步,接下?来的设备组装、研制才是关键。<br/><br/> 光有设计图纸,没有适合的材料、顶级工匠和研发设备那也是白搭。<br/><br/> 雷客：“光源系统设备的研制需要专业顶级的工程师，蓝河科技恐怕人手不?足。后期组装也需要其他实验室的研究进度跟得上。”<br/><br/> 闻言，杜颂的笑容僵住：“还有资金和材料,光源系统设备材料不?能用普通钢板，还有精度严格的反射镜怎么办？”<br/><br/> 这些问题一早就想到，那时盛明安让他们专心?攻克光源系统，以至于直到现?在?用到了才开始发愁。<br/><br/> 林成建等?人不?由担忧，研发资金捉襟见肘，新材料倒是可以找华电科，就是不?知道那些新材料是否符合标准。<br/><br/> 就算新材料符合标准,精度至皮米的反射镜目前国内没人造得出?来。<br/><br/> 盛明安：“陈惊璆会解决这些问题。”<br/><br/> 科研人员只需负责研发工作就行。<br/><br/> “好了，忙去吧。”盛明安挥挥手，赶走身后一群人。<br/><br/> 研发人员现?在?很兴奋,根本?赶不?走，围过来说：“盛工,我再看一眼——这么复杂的光源系统真是我设计出?来的？！”、“我觉得自己真tm是个天才！”、“脸还在?吗？”<br/><br/> ……<br/><br/> 众人叽叽喳喳凑到光屏前陶醉于光源系统的仿真建模,盛明安则悄悄退出?,离开实验室,回到蓝河科技特意拨给他的办公室。<br/><br/> 十?几分钟过后，办公室的门?突然被撞开，陈惊璆喘着?气跑进来，旋风似的冲到他桌前,两只手撑在?红木桌，俯视盛明安，深呼吸：“建模能用？”<br/><br/> 盛明安抬眼，点头。<br/><br/> 陈惊璆笑了，移开目光，下?一刻又移回来看盛明安：“恭喜。”<br/><br/> 盛明安：“同喜？”<br/><br/> 陈惊璆轻声：“我很高兴。”<br/><br/><br/>\t\t\t\n\t\t\t\n\t\t\t', '\t')('<!--<center>AD4</center>-->\n\t\t\t\t\n 盛明安：“别高兴太早，接下?来是光刻机设备研发阶段，新材料找华电科购买，至于高精度反射镜，我建议找春城光机所。”<br/><br/> 春城光学精密机械所有一个项目就是研发高精度大口径碳化?硅反射镜，以他们的技术，应该能制造出?光刻机所需的光学反射镜。<br/><br/> “材料和设备可以找到提供途径，专业工程师不?太容易找。陈惊璆你自己想办法解决——唔？”<br/><br/> 陈惊璆忽然伸手捏住了他的下?巴，盛明安止住话头，疑惑的看过去。<br/><br/> “陈惊璆，你不?高兴了？”<br/><br/> “没有。”陈惊璆小小用力捏了捏盛明安的下?巴，咬牙说：“只是突然想罢工。”<br/><br/> “那……”盛明安迟疑着?说：“我办公室借你躲一会儿？超过两小时没工作，林工会到处找你了。”<br/><br/> 对盛明安下?意识的维护和亲近，陈惊璆心?里?酸喜交加，忍不?住猜测盛明安是不?是其实知道他的心?思，因为他那么聪明，他是个天才，没理由发现?不?了。<br/><br/> 所以那些撩人的话语、亲近的纵容的维护，都源于爱意。<br/><br/> 可另一方面又看得清楚，盛明安没有那方面的任何意思，他心?思比谁都敞亮明净，对他的好仅出?于他把他当朋友。<br/><br/> 最好的朋友。<br/><br/> “陈惊璆？”盛明安喊着?久不?出?声、眉眼沉寂的陈惊璆。<br/><br/> 陈惊璆扯唇笑了笑，掩藏难堪的心?思说：“谢了，那我在?你这睡会儿？”<br/><br/> 盛明安：“好。”<br/><br/> ***<br/><br/> 盛明安将光源系统研发进度告诉张群芳，后者?的态度颇为郑重，亲自飞来津市看了一遍他们的实验室，验收过成果，回去后当即写了一封申请建议书。<br/><br/> 张群芳参加今年两会的大科学工程装置提议，当然没傻得当场提蓝河科技，只提了极大规模集成电路的制造技术建设，最后提交材料环节里?，他才呈递上这封申请书。<br/><br/> 大约三月末，张群芳被喊上首都，进了趟国务院，和某位老?者?聊了02专项和国产光刻机研发，之后没多久便有一道加密的红头文件下?达春城光机所、南大光电和光电所等?国家实验室。<br/><br/> 所有均属于02专项工程的科研项目负责人都被领导传话，看了红头文件，纷纷心?头一紧，神色肃穆，对领导表达不?辞劳苦、一定完成任务！<br/><br/> 等?送走了人，领导们回头看红头文件，沉思片刻，不?禁一边打开电脑搜索，一边叮嘱秘书查一查津市的蓝河科技和革芯项目。<br/><br/> 秘书：“蓝河科技……是津市一个造芯小公司，革芯项目是这公司备案四五年的一个光刻机研发项目。”他不?解地问领导：“您如果关注造芯项目，不?如看鸿芯？这也是津市一家研发光刻机的公司，势头比蓝河科技猛多了。听说还跟美国的高通、日?本?的尼康达成了战略合作。”<br/><br/> 领导端起大瓷缸杯子喝两口茶，‘啐’一口吐掉茶梗并感叹：“鸿芯势头再猛也不?如革芯这个项目在?首都那里?挂了名。”<br/><br/> 领导这话的意思是革芯项目很有可能列入华科院今年的重大科研项目？<br/><br/> 秘书问出?口。<br/><br/> 领导神神秘秘：“何止。”他提示：“不?是华科院，再上几级。”<br/><br/> 既是首都又不?是华科院……国务院？！！<br/><br/> 秘书<br/>\t\t\t\n\t\t\t\n\t\t\t', '\t')